ケミカルサーキュレータ
各種薬液の温度管理に！ウェットプロセスに欠かせない直接循環式薬液恒温装置
日本エクセル株式会社では『ケミカルサーキュレータ』を取り扱っております。 当製品は、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる薬液の温度を高精度に コントロール可能。ゴムOリングが直接液に触れないシール構造のため 酸性液、アルカリ性液など薬液毎のシール材質の選定が不要です。 また、冷却加熱部の伝熱接液部材は高純度のガラス状炭素を使用しており 溶出金属イオンによる汚染の心配がなく、表面保護膜も不要のため 剥離による能力低下もありません。 【特長】 ■薬液の温度を高精度にコントロール ■電子冷熱方式のため、室温付近の温度コントロールに適し且つ高精度 ■国際保護規格IP31に適合 ■漏液センサ、温度スイッチを内蔵 ■高メガピット化に伴うクリーン度アップのご要求にお応え ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：日本エクセル株式会社
- 価格：応相談
